真空泵油
BIFUSI-8400 （真空帮浦专用油） 是一款新型全氟聚醚产品， 具有优异的耐化学性, 热阻性和介电性能， 无毒性，
无闪点， 无燃点， 良好的极端压力和磨损特性、低蒸发损失、 良好的热指数。
真空泵油PFPE
真空帮浦专用之高真空氟醚油是全氟聚醚 (PFPE) 最
重要的应用领域之一。 PFPE分子结构中存在著与C-C 主键键
合的F和O原子, 这两种原子具有很强的电负 性, 因此具有
很好的化学稳定性、热稳定性及优异的 物理性质。
积体电路等离子蚀刻是在真空条件下进行的, 必须使用机械
真空帮浦。 由於系统中存在腐蚀性气体, 若用矿物真空泵油, 则
会很快变质。而全氟聚醚具有特殊的化学惰性, 而且蒸发
能优良, 已广泛用作积体电路等离子蚀刻的真空泵油。
与市面真空泵油 FOMBLIN 06/6 同特性
