真空泵油
BIFUSI-8400 （真空幫浦專用油） 是一款新型全氟聚醚產品， 具有優異的耐化學性, 熱阻性和介電性能， 無毒性，
無閃點， 無燃點， 良好的極端壓力和磨損特性、低蒸發損失、 良好的熱指數。
真空泵油PFPE
真空幫浦專用之高真空氟醚油是全氟聚醚 (PFPE) 最
重要的應用領域之一。 PFPE分子結構中存在著與C-C 主鍵鍵
合的F和O原子, 這兩種原子具有很強的電負 性, 因此具有
很好的化學穩定性、熱穩定性及優異的 物理性質。
積體電路等離子蝕刻是在真空條件下進行的, 必須使用機械
真空幫浦。 由於系統中存在腐蝕性氣體, 若用礦物真空泵油, 則
會很快變質。而全氟聚醚具有特殊的化學惰性, 而且蒸發
能優良, 已廣泛用作積體電路等離子蝕刻的真空泵油。
與市面真空泵油 FOMBLIN 06/6 同特性
