Photo mask USC
以非接触方式清洗曝光工序的核心配件-- Photo mask的上面(Quartz)细微异物， 并使用 Vision camera检查、判定清洗状态的设备
代理韓國CTS USC
用於光罩乾式清潔之設備
產品特徵
| 可适用 Panel size | 850x1400(mm) - Max |
|---|---|
| 适用 Panel | 8.0mm 以上 |
| Tact time | 250sec / 1 Mask |
| 清洗力 | 可去除 99%以上的1.6um以上干燥剂粉 ※ 以CTS标准粒子（Standard Particle）为标准 |
| Nozzle 标准 Gap | 1.5 ~ 2.0mm |
| Moving type | Head moving |
| 电源 | AC208V 3P 60Hz / 50Hz |
| Mask 供应 | 手拉车 / AGV |
| 异物检查能力 | 30um 以上 |
| 检出异物方式 | Line scan camera |
產品特點
| 超声波干式清洗机 | 以非接触式干式清洗曝光机 Photo mask的干式超声波 清洗机 |
|---|---|
| 防污染 | 工序当中的 Photo mask异物管理 |
| 保护 | 防止 Photo mask的受损 |
| 降低不良率 | 可降低因 Photo mask导致的工序不良 |